Der Siliciumaufloseprozess in Flusssaure-Salpetersaure-Schwefelsaure/Wasser-Losungen unterscheidet sich vom Atzprozess in Flusssaure-Salpetersaure-Wasser-Standardmischungen in Bezug auf die Reaktivitat gegenuber Silicium, erzielte Oberflachenmorpholgien sowie die beim Atzen entstehenden gelosten und gasformigen Produkte. Die Behandlung von Siliciumwafern in Schwefelsaure-reichen Atzlosungen erzeugt Texturen mit hoher Rauigkeit und geringer Reflexion. mc-Si-Solarzellen texturiert durch eine Schwefelsaure-reiche Atzlosung weisen vergleichend zu Solarzellen mit Standardtexturen hohere Wirkungsgrade auf. Spektroskopische Untersuchungen zeigen, dass sowohl das Salpetersauremolekul als auch das Nitrylion am Siliciumaufloseprozess beteiligt sind. Das vorliegende Werk beschreibt zudem die erstmalige Identifizierung von Trifluorsilan und Hexafluordisiloxan als gasformige Produkte des sauren nasschemischen Atzens von Silicium.