Dans ce travail les couches minces d¿ oxydes de Zn(1-X) CoXO [1%,3%,5%,9%,14%,18%,22%], Zn0.95Co0.05O et Zn0.90Co0.05M0.05O ( M = Al , Cu , Cd, Na) monophasés ont été synthétisés avec succès par la technique de spray ultrasonique. Le principe de dépôt repose sur le transport de la solution de départ à l¿aide d¿un générateur ultrason sur une surface chauffée avec une température régulée à 450°C le temps de dépôt (de 30 minutes). Nous avons étudié l¿influence du taux de dopage et de codopage sur les propriétés structurales, microstructurales et optiques. Afin d¿élargir notre étude plusieurs caractérisations ont été effectuées. Structuralement, les couches ont été analysées par DRX, la microstructure était analysé au microscope électronique à balayage (MEB) (FEI QuantaTM 250 FEG). Le MEB est équipé d'un Détecteur de spectroscopie aux rayons X à dispersion d'énergie (EDAX), alors que les caractérisations optiques ont été faites par UV-Visible.