L'etude a porte sur la determination, l'elaboration et la caracterisation d'une couche mince limitant le gradient de temperature sous l'effet d'un bombardement electronique. Les materiaux choisis sont le tungstene associe au fer sous sa forme oxyde de fer. Le tungstene est un materiau refractaire avec un haut coefficient de retrodiffusion des electrons. De plus, la magnetite possede un bon coefficient d'emissivite thermique. Ces deux proprietes sont essentielles pour eviter la deformation due au gradient de temperature. L'etude a porte sur les depots de couches minces (systeme bicouche) oxyde de Fe/ W mais aussi alliage Fe-W sur substrat de Fe. Les depots ont ete realises par pulverisation magnetron au moyen d'un generateur a decharge continue (pulsee ou non) avec ou sans l'assistance d'un plasma auxiliaire radiofrequence cree par une antenne interne. Pour tenter d'obtenir une couche mince de Fe3O4, nous avons etudie les oxydations ex-situ apres depots ainsi qu'in-situ pendant ou apres depots (en les comparant entre elles). Les caracterisations ont concerne l'etude de la structure, l'adherence, la composition et la mesure des proprietes optiques infrarouge et thermiques."