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Elaboration de films de (La,Sr)2NiO4 et (Ba,Sr)TiO3 par ablation laser

Autor Ludovic Goux
fr Limba Franceză Paperback – 20 noi 2014
Cette etude est une tentative d'epitaxie par ablation laser de l'oxyde de forte permittivite Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) sur silicium en vue de l'integration de condensateurs de forte capacite. Nous montrons d'abord l'effet benefique d'une croissance de BST orientee selon les plans (h00) sur substrat monocristallin SrTiO3(100) sur la valeur de la permittivite du film. Comme par ailleurs nous confirmons que la croissance du BST sur substrat Pt(111)/TiOx/SiO2/Si (0
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Specificații

ISBN-13: 9783838149196
ISBN-10: 383814919X
Pagini: 224
Dimensiuni: 150 x 220 x 14 mm
Greutate: 0.35 kg
Editura: presses académiques francophones

Notă biografică

Ludovic Goux est Docteur en Sciences de l'Ingénieur (Tours, 2002) et Habilité à Diriger des Recherches (Aix-Marseille, 2013). Depuis 2002 il explore et développe principalement des mémoires électroniques émergentes (FRAM, PCRAM, RRAM,...) au sein du centre IMEC de Leuven. Il est (co-)auteur de 150 publications scientifiques internationales.