Die Schwerpunkte dieser Arbeit liegen in der Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren bzw. -motoren, in der Integration von speziellen Funktionskomponenten sowie in der Fertigung der Systeme mittels mikrotechnischer Fertigungsverfahren. Im Bereich dieser elektromagnetischen Antriebe werden sowohl elektro-magneto-mechanische als auch elektrodynamische Mikroaktoren vorgestellt. Während bei Ersteren die Kraft auf Basis der Minimierung der Reluktanz erzielt wird, liegt beim elektrodynamischen Prinzip die Antriebswirkung in der Lorentzkraft begründet. Für beide Untergruppen werden neben der Konzeption von Komponenten und Motoren auch deren Realisierung und Charakterisierung aufgezeigt.