Au cours de ce travail, nous avons analyse et etudie le phenomene de decohesion des films minces de leurs substrats. Utilisant le Microscope a Force Atomique (AFM) couple avec une micromachine de deformation, nous avons: - Detecte et observe les premiers stades de decollement d'un film mince d'acier inoxydable 304 L elabore par pulverisation ionique sur un substrat de polycarbonate, - Determine la valeur de la contrainte critique qui declenche ce phenomene, - Montre que le phenomene de decollement est bien lie aux contraintes et a leur amplitude. Dans une seconde partie, nous avons propose une methode pour la determination du module d'Young des films minces. Cette methode est essentiellement basee sur un modele qui traite les decollements et sur les performances de l'AFM dans la determination de la geometrie de ces decollements. Utilisant la methode des elements finis et le logiciel de calcul CASTEM 2000, nous avons etabli pour la premiere fois une expression analytique de la force de glissement d'une dislocation coin situee pres d'un diedre d'un solide."