La scatterometrie est une methode de mesure non destructive basee sur la mesure et l'interpretation des phenomenes de diffraction des structures periodiques. Le traitement des donnees et l'extraction des parametres geometriques des structures etudiees constituent le probleme inverse a resoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des donnees experimentales sous certaines hypotheses statistiques. L'ensemble des etudes theoriques et experimentales a mis en evidence que la scatterometrie permet de mesurer les profiles de reseaux mono- et bi-periodiques compatibles avec les specifications des futures circuits integres. Neanmoins, seuls certains parametres geometriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'etre mesures dans des conditions experimentales standard. Cette methode de mesure apparait aussi etre robuste vis-a-vis des defauts et des inhomogeneites du reseau et est bien correlee avec les methodes de mesure couramment utilisees dans en microelectronique (MEB, AFM). On peut noter que la precision des indices optiques des materiaux constitue l'une des cles de la fiabilite de la mesure."