L'amelioration, en termes de performances et de fiabilite, des micro-interrupteurs en technologie MEMS est indispensable pour permettre leur plus large industrialisation. Les travaux presentes dans cet ouvrage s'inscrivent dans le cadre d'une collaboration entre Schneider Electric et le CEA-Leti dont a resulte un micro-interrupteur MEMS a la fiabilite superieure a l'etat de l'art mondial. Cet ouvrage presente alors une etude des mecanismes de defaillances du contact electrique de ce composant, suivie du developpement d'un banc de test permettant d'evaluer l'endurance de nouveaux materiaux de contact. Une etude des mecanismes d'etablissement et d'interruption du courant lorsque l'espace inter-contacts est reduit a quelques dizaines de nanometres est ensuite presentee. L'utilisation d'un microscope a force atomique a pointe conductrice a permis de simuler a vitesse reduite l'actionnement d'un micro-contact et a permis de mettre en evidence un phenomene de transfert de matiere se produisant lors des derniers instants precedant la fermeture du contact. L'ensemble de ces travaux est alors utilise pour definir les regles de conception d'un micro-contact fiable."