Diese Dissertation fokussiert sich auf die Entwicklung und Charakterisierung von hybriden Mikrofluidiksystemen. Sie beinhalten einerseits eine optisch transparente Mikrofluidikkomponente auf Polymerbasis, die sich flexibel und schnell in mehreren Ebene herstellen lässt. Zusätzlich dient eine Substratebene zur elektronischen Steuerung der mikrofluidische Prozesse. Das Substrat ist auf Basis von Siliziumchips oder Polyimid-Platinen gefertigt und enthält eine regelmäßige Anordnung vieler Elektroden. Für diese hybride Architektur werden optimierte Fertigungstechnologien vorgestellt, die geringere Strukturhöhen ermöglichen, die passgenaue Verbindung der beiden Komponenten erlauben und die Abbildungsqualität in der hochauflösenden Mikroskopie verbessern. Dies resultiert in einem robusten, universell einsetzbaren .Lab-on-a-chip", der sich insbesondere zur Fluoreszenzdetektion und zur Steuerung kleinster Flussraten eignet.