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Microphone Electrodynamique Mems En Technologie CMOS: Le Laicran

Autor Fares Tounsi
fr Limba Franceză Paperback – 30 iun 2011
Les microsystemes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturises reunissant des fonctions electroniques, mecaniques et optiques sur la meme puce. Les technologies microsystemes conjuguent les techniques du pointe de la microelectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la realisation de systemes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette integration permettra de miniaturiser le systeme, d'ameliorer ses performances, d'augmenter la sensibilite et de diminuer le bruit grace a la reduction de la taille des composants et par la suite les capacites parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette these qui a pour but de concevoir et realiser une nouvelle generation de microphone monolithique de type electrodynamique, a base de bobines spirales planaires, realisee en technologie standard completee par un post process de micro-usinage en volume par la face avant."
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Specificații

ISBN-13: 9786131584930
ISBN-10: 6131584931
Pagini: 172
Dimensiuni: 152 x 229 x 10 mm
Greutate: 0.26 kg
Editura: Editions universitaires europeennes EUE

Notă biografică

Farès Tounsi, Ingénieur en électronique, 2001, et Docteur en Micro et Nano Système de l¿Institut Nationale Polytechnique de Grenoble, 2010.