Für den wachsenden Markt von MEMS werden zunehmend Mikrobauteile (Bauteilmasse < 0,1 g) aus Polymerwerkstoffen benötigt. Eines der wichtigsten Herstellverfahren hierzu ist das Mikrospritzgießen, eine Sonderform des Standardspritzgießens. Aufgrund der abweichenden Anforderungen beim Mikrospritzgießen haben sich spezielle Anlagen- und Prozesstechniken entwickelt und etabliert.Zu Beginn dieser Arbeit wird ein Überblick über die Besonderheiten des Mikrospritzgießens sowie die verfügbaren Maschinen- und Prozesstechnologien am Markt gegeben. An einer verfügbaren Mikrospritzgießanlage werden schließlich Versuche zum Einspritzverhalten in Abhängigkeit verschiedener Prozessparameter und Werkstoffe durchgeführt und soweit verfügbar, mit den Erkenntnissen anderer Forschergruppen verglichen. Des Weiteren werden Auswirkungen der Prozesssteuerung auf die Bauteilqualität untersucht.