Es bien sabido que la microelectrónica es una de las tecnologías más influyentes del siglo XX. El auge de los sistemas microelectromecánicos (MEMS) en los últimos años no habría sido posible sin la madurez de la tecnología microelectrónica. Los MEMS son pequeños dispositivos integrados que combinan elementos electrónicos, eléctricos y mecánicos en un solo chip. Los MEMS prometen revolucionar la mayor parte de los microproductos al combinar la microfabricación con el micromecanizado. En un pequeño chip de silicio puede alcanzarse un nivel incomparable de superioridad, sofisticación, funcionalidad, fiabilidad y disponibilidad a un coste relativamente bajo. Los MEMS a escala nanométrica se dividen en sistemas nanoelectromecánicos (NEMS) y nanotecnología.