En este trabajo se presenta la caracterizaci n microestructural mediante espectroscopia Raman de pel culas de ZnO intr nseco, dopado con aluminio y co- dopado con aluminio y nitr geno. Las pel culas se depositaron usando la t cnica de erosi n cat dica sobre substratos de silicio y vidrio a diferentes temperaturas, variando la concentraci n de aluminio y la velocidad de flujo de nitr geno. El an lisis de las se ales Raman permiti identificar los modos vibracionales del enlace entre el zinc y el ox geno, y de esta manera diferenciarlos de los modos vibracionales provenientes de la sustituci n de zinc por aluminio como resultado de la incorporaci n de este ltimo (AlZn) y de los producidos por el desplazamiento de los tomos de ox geno por los de nitr geno, debido a la difusi n de este gas sobre la superficie de las pel culas (NO). Asimismo, se identificaron otras se ales Raman atribuidas a defectos cristalinos debidos a la presencia de Zinc intersticial (Zni).