Die Dampfdruckkurven von Monosilan, Dichlorsilan, Trichlorsilan und Tetrachlorsilan wurden in einem breiten Temperaturbereich aufgenommen. Die Phasengleichgewichte von fünf binären Systemen der oben erwähnten Substanzen wurden bei verschiedenen Temperaturen untersucht. Die Phasengleichgewichtsdaten wurden mit Zustandsgleichungen und GE-Modellen gerechnet.