Inhalt der Arbeit ist die Entwicklung eines Verfahrens zum Polieren strukturierter Formeinsätze für optische Bauteile, mit dem Ziel, die Rauheit der vorbearbeiteten strukturierten Formeinsätze zu verringern, ohne dass es dabei zu einer Beeinträchtigung der Formgenauigkeit der Strukturen kommt. Ausgehend vom konventionellen mechanisch-abrasiven Polieren für unstrukturierte Bauteile wurde zum einen ein neuer abrasiver Polierprozess für strukturierte Oberflächen - das Profilpolieren - entwickelt. Hierzu wurden neue Poliermittelträger und Technologien entwickelt und anschließend umfangreiche Untersuchungen zu den Materialabtragsmechanismen beim Profilpolieren durchgeführt. Darüber hinaus wurden auch das Laserpolieren und das Strömungspolieren für die Bearbeitung strukturierter Oberflächen betrachtet und die erzielten Oberflächengüten im Vergleich zu den durch das Profilpolieren erreichten bewertend diskutiert.