Ces travaux sont axes sur la mise au point d'un procede de synthese de couches minces a basse temperature d'un materiaux dielectrique a forte conductivite thermique pour la passivation de semi conducteur. Cette ouvrage s'articule d'une part sur la presentation de l'etat des connaissance dans les domaines des materiaux dielectriques cristallins ainsi que des procedes plasma et d'autre part sur la presentation des methodes permettant une comprehension fine des proprietes intrinseque des materiaux quel soit structural ou thermique. La seconde partie de cette ouvrage est constitue des etudes menees lors de mon doctorat au laboratoire Jean Rouxel de l'universite de Nantes qui s'appuie principalement a liees les domaines des procedes et des materiaux afin d'en optimiser les proprietes."