V knige rassmotreny osobennosti planarnykh MOP-struktur na osnove kremniya i fizicheskie osobennosti stroeniya plenki oksida kremniya na kremnii. Otmechaetsya rol' mekhanicheskikh napryazheniy v strukture "oksid kremniya-kremniy". Privodyatsya rezul'taty issledovaniya effekta radiatsionno-termicheskoy obrabotki (RTO). Predlagaetsya primenenie RTO dlya vyyavleniya anomal'nykh struktur i dlya diagnostiki tekhnologicheskogo protsessa izgotovleniya izdeliy s MOP-strukturoy.