Die Speicherblöcke in einem System on a Chip (SoC) haben einen großen Einfluss auf die Leistung des Gesamtsystems. Die wichtigste Komponente in einem Speicherblock ist die Speicherzelle, die verantwortlich dafür ist, ein einzelnes Informationsbit zu speichern. Diese Arbeit vergleicht verschiedene Speicherzellkonzepte miteinander und bewertet ihre Eignung für eingebettete Speicher in low-power SoCs mittels eines Bewertungsframeworks, das es erlaubt, ganze Designräume von Speicherzellkonzepten miteinander zu vergleichen. Zwei verschiedene Szenarien werden betrachtet: Skalierung in traditionellen planaren CMOS Technologien und ein Wechsel auf eine Multi-Gate FET (MuGFET) Technologie. MuGFETs eröffnen dem Speicherzelldesign neue Möglichkeiten, die anhand einer Studie verschiedener Layoutstile von 6T Speicherzellen in einer experimentellen MuGFET Technologie untersucht werden.