Die Diamantzerspanung bietet prinzipiell die Möglichkeit, Strukturen mit Abmaßen unterhalb eines Mikrometers zu fertigen, was in der Praxis jedoch oft schwer umzusetzen ist. Im Rahmen dieser Dissertation werden daher Methoden erforscht, mit denen sich mittels Ultrapräzisionszerspanung Strukturdetails im Submikrometerbereich fertigen lassen. Dies wird durch praktische Versuche nachgewiesen, in denen Werkstücke mit Strukturtoleranzen von bis zu +/- 0,25 µm gefertigt werden.