Les tendances recentes en matiere de piles a combustible a oxydes solides visent a exploiter la conduction du proton par l'utilisation d'electrolytes de structure de type perovskite, plus performants a temperature moderee que les electrolytes conducteurs de l'ion oxyde. Une seconde voie d'amelioration des performances des piles consiste a diminuer l'epaisseur de l'electrolyte aux alentours de 5-10 micron pour minimiser sa resistance. Dans ce contexte, les procedes de depot physique trouvent un interet majeur. Dans ce travail, nous nous sommes attaches a etudier la faisabilite de couches denses de cerates ou de zirconates de baryum ou de strontium, les electrolytes conducteurs protoniques les plus aptes a repondre aux besoins de l'application, par co-pulverisation de cibles metalliques en presence d'une atmosphere reactive d'argon-oxygen."