Dieses Kursmanuskript ist eine Einführung in die Überwachung und Betriebssicherheit mechatronischer Systeme. Es richtet sich an Masterstudenten. Bei der Untersuchung mechatronischer Systeme können wir nämlich Methoden der externen Funktionsanalyse anwenden, die die Beziehungen zwischen einem System und seiner externen Umgebung abbilden. So stellen wir die Safe-SADT-Methode und den GRAFCET vor, die die Darstellung eines mechatronischen Systems ermöglichen. Ein allgemeines Modell für die Analyse der Betriebssicherheit und die Überwachung des Betriebs wird vorgeschlagen und anhand einer Fallstudie eines Farbmischers validiert.