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Vacuum Microelectronics

Autor w Zhu
en Limba Engleză Hardback – 11 oct 2001
Die st ndig steigenden Anforderungen an die Mikroelektronik lassen sich zum Teil mit Hilfe von Vakuumtechnologien bew ltigen: Im Vakuum kann man Bauelemente schneller, mit gr erer Reinheit und zuverl ssiger herstellen und zusammenf gen. Anwendungsgebiete reichen von der Herstellung integrierter Schaltkreise bis zu neuen Anzeigeger ten. Das erste Buch zu einem schnell wachsenden Forschungsgebiet
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Specificații

ISBN-13: 9780471322443
ISBN-10: 047132244X
Pagini: 416
Dimensiuni: 158 x 241 x 28 mm
Greutate: 0.75 kg
Editura: Wiley
Locul publicării:Hoboken, United States

Public țintă

Practitioners in the microelectronics industry and graduate students of electrical engineering, materials science, and applied physics

Cuprins


Descriere

Provides coverage of vacuum microelectronics - principles, devices, and applications. This book covers topics that include: Field emission theory; Metal and silicon field emitter arrays; Novel cold cathode materials; and more. It is aimed at practitioners in the display, microwave, telecommunications, and microelectronics industries; and others.