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Co-Sputtern von metallhaltigen Kohlenstoffschichten

Autor Jochen Bock
de Limba Germană Paperback – 22 oct 2013
Heutzutage werden zur Messung von hydraulischen Drcken, Gewichten und Krften Dehnungsmessstreifen (DMS) benutzt. Diese ndern bei mechanischer Belastung ihren elektrischen Widerstand und wandeln so die mechanische Gre in ein elektrisches Signal um. Die Arbeitsgruppe von Herrn Prof. Dr. Gnter Schultes an der HTW des Saarlandes beschftigt sich mit der Entwicklung von neuartigen metallhaltigen Kohlenstoffschichten fr die Anwendung als Sensorelement. Die nderung des elektrischen Widerstandes ist dabei um ein Zehnfaches hher als bei derzeit eingesetzten DMS bei gleichzeitiger Temperaturunabhngigkeit. Somit lassen sich beispielsweise minimale Dehnungen in Bauteilen messen. Im Buch wird die Herstellung der Schichten mittels Co-Sputtern beschrieben. Dabei werden Analysen zur Struktur der Schichten mithilfe des REM, FE-SEM und XRD erstellt. Desweiteren werden die Eigenschaften der Schichten wie der elektrische Widerstand, der k-Faktor, der TKR und die Stabilitt untersucht und ausgewertet.
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Specificații

ISBN-13: 9783639049305
ISBN-10: 3639049306
Pagini: 164
Dimensiuni: 150 x 220 x 10 mm
Greutate: 0.25 kg
Editura: VDM Verlag Dr. Müller e.K.