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Etude de La Croissance Dendritique Du Cuivre Dans L'Acide Oxalique: Ce Qu'il Faut Savoir

Autor Elodie Ostermann
fr Limba Franceză Paperback – 29 feb 2012
Si rien ne se perd, rien ne se cree, la matiere, en tout cas, ne cesse de se transformer: elle change de forme, de couleur, d'etat et de nature en se combinant, en se dissociant et en interagissant. La corrosion electrochimique est une des voies dont dispose la matiere pour se transformer et peut etre rencontree dans des domaines tres differents, tels que dans l'industrie microelectronique lors de certains traitements de surface. Le cuivre est utilise pour realiser les interconnexions des microcircuits. L'integration de ce metal necessite un polissage, un nettoyage a l'acide et un rincage, appele "post-CMP cleaning," afin d'eliminer les particules abrasives, les residus du polissage et la contamination. Cette derniere etape est parmi les plus critiques et des phenomenes de croissance dendritique peuvent se produire sur des sites privilegies. Le but de ce travail est d'avoir une meilleure comprehension des processus electrochimiques impliques pendant le nettoyage qui suit le polissage mecano-chimique du cuivre."
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Specificații

ISBN-13: 9786131597060
ISBN-10: 6131597065
Pagini: 260
Dimensiuni: 152 x 229 x 15 mm
Greutate: 0.39 kg
Editura: Editions universitaires europeennes EUE

Notă biografică

A l'issue d'une thèse de doctorat dans le domaine de la microélectronique, Elodie Ostermann a travaillé dans un cabinet de propriété industrielle puis a rejoint le CEA-Leti en tant qu'Ingénieur Brevets. Cette fonction est l'occasion pour elle d'allier deux thématiques qui lui tiennent à coeur : les sciences et la protection des invention.