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Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen: Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen de Dieter Lipinsky

Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen: Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

Autor Dieter Lipinsky
de Limba Germană Paperback – 1995

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Specificații

ISBN-13: 9783824420667
ISBN-10: 382442066X
Pagini: 216
Ilustrații: IV, 211 S. 8 Abb.
Dimensiuni: 155 x 235 x 17 mm
Greutate: 0.31 kg
Ediția:1995
Editura: Deutscher Universitätsverlag
Colecția Deutscher Universitätsverlag
Locul publicării:Wiesbaden, Germany

Public țintă

Research

Cuprins

1 Einleitung.- 2 Theoretische Grundlagen.- 3 Apparaturbeschreibung.- 4 Probensysteme und Meßablauf.- 5 Messungen an Oxiden im Zerstäubungsgleichgewicht.- 6 Tiefenprofilanalyse oxidischer Schichtsysteme.- 7 Zusammenfassung.- Abbildungsverzeichnis.- Tabellenverzeichnis.