È risaputo che la microelettronica è una delle tecnologie più influenti del XX secolo. Il boom dei sistemi microelettromeccanici (MEMS), negli ultimi anni, non sarebbe stato possibile senza la maturità della tecnologia microelettronica. I MEMS sono piccoli dispositivi integrati che combinano elettronica, elementi elettrici e meccanici in un unico chip. I MEMS promettono di rivoluzionare la maggior parte dei microprodotti combinando la microfabbricazione con il processo di microlavorazione. È possibile ottenere un livello ineguagliabile di superiorità, sofisticazione, funzionalità, affidabilità e disponibilità su un piccolo chip di silicio a un costo relativamente basso. I MEMS su scala nanometrica si dividono in sistemi nanoelettromeccanici (NEMS) e nanotecnologie.