The Physics of Microfabrication
Autor Ivor Brodie, Julius J. Murayen Limba Engleză Hardback – 31 mai 1982
Toate formatele și edițiile | Preț | Express |
---|---|---|
Paperback (1) | 1227.52 lei 6-8 săpt. | |
Springer Us – 26 iun 2013 | 1227.52 lei 6-8 săpt. | |
Hardback (1) | 1234.00 lei 6-8 săpt. | |
Springer Us – 31 mai 1982 | 1234.00 lei 6-8 săpt. |
Preț: 1234.00 lei
Preț vechi: 1504.88 lei
-18% Nou
Puncte Express: 1851
Preț estimativ în valută:
236.16€ • 243.63$ • 199.87£
236.16€ • 243.63$ • 199.87£
Carte tipărită la comandă
Livrare economică 04-18 martie
Preluare comenzi: 021 569.72.76
Specificații
ISBN-13: 9780306408632
ISBN-10: 0306408635
Pagini: 504
Ilustrații: XX, 504 p.
Dimensiuni: 156 x 234 x 29 mm
Greutate: 0.91 kg
Ediția:1982
Editura: Springer Us
Colecția Springer
Locul publicării:New York, NY, United States
ISBN-10: 0306408635
Pagini: 504
Ilustrații: XX, 504 p.
Dimensiuni: 156 x 234 x 29 mm
Greutate: 0.91 kg
Ediția:1982
Editura: Springer Us
Colecția Springer
Locul publicării:New York, NY, United States
Public țintă
ResearchCuprins
1 Preliminary Survey.- 2 Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3 Thin Films.- 4 Pattern Generation.- 5 Special Processes Developed for Microcircuit Technology.- 6 Submicron Microscopy and Microprobes.- 7 Future Directions.- Appendices.- A. The Error Function and Some of Its Properties.- B. Properties of Silicon.- C. Useful Physical Constants in Microscience.- References.