Inhalt der vorliegenden Arbeit ist die Entwicklung einer Prozesskette zur Herstellung schichtbasierter Systeme mit integrierten Kavitäten auf Basis der Verarbeitung metallischer Grünfolien. Die Prozesskette wird durch die Herstellung komplex geformter, schichtbasierter Bauteile aus Metall validiert.Zur Erarbeitung der Prozesskette werden bekannte Fertigungstechnologien analysiert. Aus den Fertigungstechnologien der Mehrschicht-Technologie, der generativen Verfahren wie Rapid Prototyping und Verarbeitungsprozessen der Blech- und Plattenverarbeitung werden Potentiale und Defizite abgeleitet. Basierend auf dieser Analyse werden die Prozessstufen der Kette analog zu den Verarbeitungsprozessen der Mehrschicht-Technologie konzipiert.Nach Test und Aufbau der Prozessstufen Stanzen, beschädigungsfrei Handhaben, Heißprägen, präzise Ausrichten, Laminieren mittels uniaxialer Thermokompression, Entbindern und Sintern werden experimentell Parameter und deren Wertebereiche zur Grünfolienverarbeitung ermittelt. Die Parameter gehen in die statistische Versuchsplanung ein. Diese dient zur Abstimmung der relevanten Prozesse aufeinander.Aus der statistischen Versuchsplanung werden die Parameter abgeleitet, die zur Herstellung der Validierungsbauteile dienten. Identifizierte kritische Stufen der Prozesskette werden anhand der Herstellung einer metallischen Wärmesenke validiert.