Die Mikroschaftfräsbearbeitung ist eines der wichtigen Verfahren zur Formeinsatzherstellung für die ur- und umformende Massenfertigung von Mikroteilen. Entscheidend für die Wirtschaftlichkeit ist dabei die Standzeit der Formeinsätze, daher liegt die Werkstoffpalette hierfür im Bereich der Werkzeugstähle.In der vorliegenden Arbeit wurde der Zerspanprozess des Mikrofräsens von vergüteten Werkzeugstählen experimentell analysiert, um Wirkzusammenhänge und Einflussgrößen der Werkstückqualität sowie der Werkzeugbelastungssituation zu ermitteln. Eine sinnvolle Untergrenze der weiteren künftigen Miniaturisierung des Schaftfräsens von Werkzeugstahl wurde aus Sicht der Werkzeugstabilität auf Basis der experimentellen Ergebnisse theoretisch ermittelt. Mögliche Wege zur Verschiebung der Untergrenze der Miniaturisierung aus Sicht der Werkzeugherstellung wurden experimentell untersucht.