Vakuumbeschichtung: Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik: VDI-Buch

1 Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.- 1.1 Vorbemerkungen.- 1.2 Steuerungssysteme.- 1.3 Materialfluß.- 1.4 Automatisierung von Teilsystemen.- 1.5 Beispiele für die Automatisierung von Beschichtungsprozessen.- 2 Messungen an Dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses.- 2.1 Bestimmung der Schichtdicke durch Widerstandsmessung.- 2.2 Ratenmessung durch Teilchen-Ionisierung und -Anregung.- 2.3 Schichtdicken und Aufdampfratemessung mit Schwingquarz.- 2.4 Optische Meßverfahren.- 2.5 Schichtdickenbestimmung durch Wägung im Vakuum.- 2.6 Bestimmung der Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung durch Röntgenemission und Röntgenfluoreszenz.- 2.7 Atomemissionsspektroskopie.- 3 Messungen an dünnen Schichten nach beendetem Beschichtungsprozeß.- 3.1 Messung der thermischen Leitfähigkeit.- 3.2 Elektrische Leitfähigkeit.- 3.3 Magnetische Eigenschaften.- 3.4 Messung von Farbeigenschaften.- 3.5 Optische Eigenschaften.- 3.6 Permeation.- 3.7 Mechanische Spannungen in dünnen Schichten.- 3.8 Härtemessung.- 3.9 Haftfestigkeit.- 3.10 Rauheit von Festkörperoberflächen.- 3.11 Mikrogeometrische Eigenschaften.- 3.12 Schichtdickenmessung.- 3.13 Bestimmung von Pinholedichten.- 4 Moderne Verfahren der Oberflächen-und Dünnschichtanalyse.- 4.1 Physikalische Grundlagen oberflächenanalytischer Verfahren.- 4.2 Ortsaufgelöste Analysen mit AES, XPS, SIMS und SNMS.- 4.3 Sputter-Tiefenprofilanalysen.- 4.4 Rastertunnelmikroskopie.- 4.5 Mikrosonde (Elektronenstrahlmikrosonde).- 4.6 Anwendungsbeispiele zur Oberflächen-und Dünnschichtanalytik.- Literatur.- Sachwortverzeichnis.- Autorenverzeichiiis.