Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen: Mikroelektronik
N. Bündgens Autor Günter Schumicki T. Evelbauer Autor Peter Seegebrecht H. Fehling, J.-H. Fock, J. Frick, R. Schneider, B. Strycharczyk, F. Zimmermannde Limba Germană Paperback – 8 mar 1991
Din seria Mikroelektronik
- Preț: 485.46 lei
- Preț: 490.62 lei
- Preț: 417.90 lei
- Preț: 484.47 lei
- Preț: 488.12 lei
- 15% Preț: 496.67 lei
Preț: 513.83 lei
Preț vechi: 604.51 lei
-15% Nou
Puncte Express: 771
Preț estimativ în valută:
98.33€ • 101.59$ • 81.79£
98.33€ • 101.59$ • 81.79£
Carte tipărită la comandă
Livrare economică 20 martie-03 aprilie
Preluare comenzi: 021 569.72.76
Specificații
ISBN-13: 9783540176701
ISBN-10: 3540176705
Pagini: 520
Ilustrații: XVI, 500 S. 168 Abb.
Dimensiuni: 170 x 244 x 27 mm
Greutate: 0.82 kg
Ediția:Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Editura: Springer Berlin, Heidelberg
Colecția Springer
Seria Mikroelektronik
Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany
ISBN-10: 3540176705
Pagini: 520
Ilustrații: XVI, 500 S. 168 Abb.
Dimensiuni: 170 x 244 x 27 mm
Greutate: 0.82 kg
Ediția:Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Editura: Springer Berlin, Heidelberg
Colecția Springer
Seria Mikroelektronik
Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany
Public țintă
Professional/practitionerCuprins
1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.