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Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen de N. Bündgens

Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen: Mikroelektronik

N. Bündgens Autor Günter Schumicki T. Evelbauer Autor Peter Seegebrecht H. Fehling, J.-H. Fock, J. Frick, R. Schneider, B. Strycharczyk, F. Zimmermann
de Limba Germană Paperback – 8 mar 1991

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Specificații

ISBN-13: 9783540176701
ISBN-10: 3540176705
Pagini: 520
Ilustrații: XVI, 500 S. 168 Abb.
Dimensiuni: 170 x 244 x 27 mm
Greutate: 0.82 kg
Ediția:Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Editura: Springer Berlin, Heidelberg
Colecția Springer
Seria Mikroelektronik

Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany

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Cuprins

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.