Cantitate/Preț
Produs
Total produse
Vezi coșul
Rapid Thermal Processing of Semiconductors de Victor E. Borisenko

Rapid Thermal Processing of Semiconductors: Microdevices

Autor Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh
en Limba Engleză Hardback – 31 mai 1997
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.
Citește tot Restrânge

Toate formatele și edițiile

Toate formatele și edițiile Preț Express
Paperback (1) 138426 lei  6-8 săpt.
  Springer Us – 20 iun 2013 138426 lei  6-8 săpt.
Hardback (1) 139594 lei  6-8 săpt.
  Springer Us – 31 mai 1997 139594 lei  6-8 săpt.

Din seria Microdevices

Preț: 139594 lei

Preț vechi: 170238 lei
-18% Nou

Puncte Express: 2094
Preț estimativ în valută:
26713€ • 27925$ • 22574£

Carte tipărită la comandă

Livrare economică 06-20 martie

 Adaugă în coș

Wish list
Gift list
Am citit!
Adaugă în listă
Preluare comenzi: 021 569.72.76

Specificații

ISBN-13: 9780306450549
ISBN-10: 0306450542
Pagini: 358
Ilustrații: XXII, 358 p.
Dimensiuni: 178 x 254 x 26 mm
Greutate: 0.87 kg
Ediția:1997
Editura: Springer Us
Colecția Springer
Seria Microdevices

Locul publicării:New York, NY, United States

Public țintă

Research

Cuprins

1. Transient Heating of Semiconductors by Radiation.- 2. Recrystallization of Implanted Layers and Impurity Behavior in Silicon Crystals.- 3. Crystallization, Impurity Diffusion, and Segregation in Polycrystalline Silicon.- 4. Component Evaporation, Defect Annealing, and Impurity Diffusion in the III–V Semiconductors.- 5. Diffusion Synthesis of Silicides in Thin-Film Metal—Silicon Structures.- 6. Rapid Thermal Oxidation and Nitridation.- 7. Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition.- References.