Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen: IPA-IAO - Forschung und Praxis, cartea 253

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Definitionen der Reinraumtechnik.- 2.2 Ausgangssituation.- 2.3 Analyse von Verfahren und Methoden zur Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen.- 3 Entwicklungsschwerpunkte.- 3.1 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 3.2 Anforderungen an das Verfahren.- 4 Konzeption der Methoden und Hilfsmittel des Verfahrens.- 4.1 Konzeption der Methoden.- 4.2 Konzeption der Hilfsmittel.- 4.3 Erarbeitung eines Prüfverfahrens zur Untersuchung des Partikelemissionsverhaltens ungeschmierter gleitreibungsbeanspruchter Materialpaarungen.- 5 Ableitung von Methoden zur Anlagenkonzeption.- 5.1 Methode zur funktionellen Analyse.- 5.2 Methode zur konzeptionellen Anlagengestaltung.- 6 Erarbeitung von Hilfsmitteln zur Anlagenkonzeption.- 6.1 Bildung und Optimierung von Funktionsstrukturen.- 6.2 Partikelemissionsverhalten von Materialpaarungen.- 6.3 Materialflußautomatisierung sowie materialflußbezogene Strukturierung und Integration von Fertigungsanlagen und -zellen.- 6.4 Nicht-experimentelle Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Fertigungsanlagen.- 7 Anwendung des Verfahrens am Beispiel der Konzeption einer automatischen Fertigungszelle zur Waferkontaminationsmessung.- 7.1 Aufstellen des Anforderungskataloges.- 7.2 Durchführung der funktionellen Analyse.- 7.3 Durchführung der konzeptionellen Gestaltung.- 7.4 Diskussion der Anwendungsmöglichkeiten und Ergebnisse des entwickelten Verfahrens.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.