Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf de Oliver Morlok

Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf: IPA-IAO - Forschung und Praxis, cartea 268

Autor Oliver Morlok

de Limba Germană Paperback – 3 iun 1998

Din seria IPA-IAO - Forschung und Praxis

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Specificații

ISBN-13: 9783540645672
ISBN-10: 3540645675
Pagini: 152
Ilustrații: 147 S. 41 Abb.
Dimensiuni: 155 x 235 x 8 mm
Greutate: 0.22 kg
Editura: Springer Berlin, Heidelberg
Colecția Springer
Seria IPA-IAO - Forschung und Praxis

Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany

Public țintă

Research

Cuprins

1 Einleitung.- 2 Stand der Technik.- 3 Physikalische und physikalisch-chemische Grundlagen der Plasmabeschichtung.- 4 Versuchsaufbau zur Schichtherstellung.- 5 Herstellung und Eigenschaften der Schichten.- 6 Anwendungen.- 7 Zusammenfassung.- 8 Literatur.